真空腔体安装看着不复杂，但每一步都有坑。直接按流程说，哪些地方要特别当心。
一步：安装前的准备
所有零件先过一遍，法兰面、密封面有没有划痕、变形、锈蚀，有问题的直接退回去换，不要凑合。
螺栓、螺母按规格分类放好，不锈钢螺栓配不锈钢螺母，别混用。不同材质混装会导致电化学腐蚀，后期拆都拆不下来。
O型圈、密封垫提前检查弹性，用手指按一下，回弹慢的说明已经老化。
二步：腔体就位和找平
腔体放到基础上之后，用水平仪校准，偏差控制在0.1mm/m以内。不平整会导致法兰面受力不均，密封必然出问题。
支撑结构要稳固，不能有共振风险。真空泵启动后有振动，如果支撑刚性不够，长期运行会让焊缝疲劳开裂。
第三步：法兰连接
螺栓按对角线顺序分三次拧紧：先拧到30%扭矩，再拧到60%，最后到100扭矩。一次拧死会导致法兰面受力不均，密封失效。
法兰之间加密封垫片，垫片不能偏移，也不能用双层垫片凑厚度，这是大忌。
第四步：管道和阀门安装
管道内壁要清理干净，焊渣、铁屑清理。这些杂物在抽真空时会脱落，堵在阀门里或者划伤密封面。
焊缝尽量用氩弧焊，焊缝内侧要成型光滑，不能有气孔、夹渣。焊完之后做透检测，有的返工。
波纹管安装时不能扭转，不能拉伸超过额定补偿量。波纹管一旦扭曲，寿命会大幅缩短。
阀门安装方向要和气流方向一致，别装反了。安装前单独做一次密封测试，确认关得严再上系统。
第五步：电气和仪表接线
真空规、热电偶、加热丝等引线穿过腔壁的地方，用专用真空馈通，不能直接开孔走线。直接开孔等于给腔体开了一个漏点。
接线端子要拧紧，虚接会导致信号漂移，你以为是真空度问题，其实是接线松了。
第六步：检漏
先用肥皂水粗检一遍所有法兰、焊缝、阀门，有气泡的地方标记出来。
再用氦质谱检漏仪精检，漏率要求根据系统等级来定，一般要优于1×10⁻⁹ Pa·m³/s。
检漏要在系统烘烤除气之后做，因为烘烤会让一些微小漏点暴露出来。
第七步：烘烤除气
new腔体或者长期未用的腔体，安装后要烘烤。温度一般80~150℃，持续12~24小时，把内壁吸附的水分和气体赶出来。
烘烤时升温要慢，每小时不超过20℃，降温也一样。升温太快会让密封件变形、焊缝开裂。
烘烤过程中真空度会先变差再变好，这是正常的，别一看到压力上升就慌。
几个容易踩的坑
不要在安装现场磕碰法兰面，哪怕一个小坑都可能导致漏气。搬运时法兰面要戴保护帽。
不要省略扭矩扳手，凭手感拧螺栓是漏气的主要原因之一。
不要在雨天或高湿度环境下安装，密封面一旦受潮，密封效果大打折扣。
安装完成后保留所有检漏记录和扭矩数据，后面出问题可以追溯。
安装这件事，七分靠细心，三分靠工具。该用扭矩扳手就用，该用检漏仪就用，别省这些步骤，省下来的时间后面全得花在补漏上。
